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流星蝴蝶結(jié)呀新蟲 (初入文壇)
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[求助]
薄膜下表面包覆程度 已有1人參與
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用ald方法在襯底表面生長(zhǎng)薄膜，上表面覆蓋率是百分之百，根據(jù)溫度，壓強(qiáng)，脈沖時(shí)間增加，下表面也有不同程度的擴(kuò)散，包覆延伸面積隨工藝參數(shù)改變而大小不同，請(qǐng)問，這是什么原理造成的呢？ @hwweven 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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【答案】應(yīng)助回帖
| 就是由ALD的原理決定的呀，ALD的原理就是A源和B源依次分別進(jìn)入腔體，當(dāng)A進(jìn)入后，purge，再B進(jìn)入，purge。源每次進(jìn)入后，都會(huì)在腔體所有表面進(jìn)行化學(xué)吸附（chemiadsorption），工藝做得好的話會(huì)有一個(gè)飽和（saturation），purge的目的就是把多余的源吹掃干凈，再讓下一個(gè)源進(jìn)入。所以ALD在填槽填凹坑、包覆納米線等方面是有很好的應(yīng)用的，因?yàn)樗斜砻娑紩?huì)均勻長(zhǎng)膜，包括上表面、下表面、垂直表面。希望對(duì)你有幫助。 |
2樓2016-12-28 12:19:11
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