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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料其他 » 射頻濺射Vdc是零
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射頻濺射Vdc是零
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| 我用射頻濺射鍍氧化物，能夠正常起輝，reflected power是零，但是直流電壓（Vdc）也是零，檢測了一下靶材和屏蔽罩并沒有短路。而且過一段時間后，輝光變得不穩(wěn)定，開始閃爍，reflected power 也不斷波動。請問這是怎么回事��？謝謝！我以為有輝光就一定會有Vdc。 |
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正常輝光下Vdc應該是負的，當出現(xiàn)arcing的時候Vdc會變成0或正的，plasma不穩(wěn)定，想問下你的腔體溫度和壓強是多少？你的這種情況可能是靶安裝的問題，重新裝上去試試 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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winnalegh10樓2016-12-23 06:25:23
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