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[交流]
硅片放在氮化硼舟里放高溫爐里燒，形成一層高硼硅玻璃，不用HF，怎么去除？ 已有1人參與
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硅片放在氮化硼舟里放高溫爐里燒，1100度左右，形成一層高硼硅玻璃，不用HF，怎么去除？硅片一部分是有二氧化硅層，一部分是裸露的N型硅片，想擴(kuò)散硼。我用一種玻璃磨砂液，這種磨砂液沒(méi)有危險(xiǎn)，但是只能刻蝕二氧化硅，高硼硅就沒(méi)辦法，但是又不想用HF，太危險(xiǎn)，有沒(méi)有別的辦法？謝謝各位了 還有再問(wèn)問(wèn) 磷酸 液體的那種，直接旋涂，然后再高溫爐里燒，能擴(kuò)散出PN節(jié)嗎？ |
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馬文萍36
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2樓2016-12-31 07:12:40
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