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xilinpingan新蟲 (初入文壇)
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[求助]
加工亞波長(zhǎng)金屬光柵基底選用ZnSe如何采購(gòu)？ 已有1人參與
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| 如題，課題需要做這個(gè)，但是我不知道基底材料尺寸怎么選。對(duì)應(yīng)長(zhǎng)波紅外波段，我是選擇了ZnSe, 但是看網(wǎng)上搜ZnSe都是賣窗口片或者叫Wafer的，wafer會(huì)影響我光柵的偏振性能嗎？另外窗口片可以嗎，3mm厚度會(huì)不會(huì)太厚？ |
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xilinpingan
新蟲 (初入文壇)
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3樓2017-01-10 11:02:36
yswyx 
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【答案】應(yīng)助回帖
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ZnSe晶體是常見(jiàn)的長(zhǎng)波紅外透射材料。 所謂的窗口片和wafer是類似的，只是行業(yè)不同，叫法不同。一般來(lái)說(shuō)，wafer可能會(huì)薄一些。 對(duì)于做光柵，只要材料一樣，叫wafer也好，窗口片也好，都是一樣的。麻煩的在于后續(xù)的工藝，比如光刻，要求你的襯底不能太厚，太厚了光刻機(jī)進(jìn)不去。3mm比較厚，但是剛好能滿足光刻的要求，再厚就麻煩了。 另外，要注意一點(diǎn)，就是一般窗口片時(shí)有增透膜的，這個(gè)對(duì)你的光柵有什么影響，對(duì)你后面做光刻和長(zhǎng)金屬的工藝有什么影響，你要考慮清楚。 還有，做金屬光柵，你要做光刻，最好是先用硅片來(lái)做樣品，然后再上ZnSe晶體做正式片。你們有自己光刻和做金屬的能力嗎？ |
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2樓2017-01-03 16:04:43
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