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548446557金蟲 (正式寫手)
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[求助]
PECVD與等離子滲設(shè)備的對比
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| 有沒有人能列舉下 PECVD，等離子輔助CVD與等離子體滲設(shè)備的原理相似處與不同處，是否可以一定程度上把等離子體滲設(shè)備看做是一個PECVD設(shè)備？有這種文獻嗎？ |
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