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PMMA 薄膜的電容測試
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| 我想用半導體參數(shù)儀測試聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)薄膜的電容,薄膜是直接在純Si片上旋涂而成的,大約600nm厚,請問電極要怎么做?形成歐姆接觸還是肖特基接觸? |
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