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mearsmear新蟲 (初入文壇)
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[求助]
請(qǐng)問下有人做過光刻膠高溫固化后做支撐層的工藝么?萬分感謝! 已有2人參與
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想用AZ4620膠高溫加熱使光刻膠碳化后做支撐層,但是實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)膠高溫碳化后變形很嚴(yán)重,不知道各位蟲友有沒有相關(guān)的經(jīng)歷可以提供點(diǎn)經(jīng)驗(yàn)參考? 或者大家有沒有知道其它的材料可以用作在MEMS加工中做支撐絕緣層的?謝謝大家! |
金蟲 (初入文壇)
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新蟲 (初入文壇)
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