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z_wlang新蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助：石墨及碳纖維材料表面氮化硅涂層的清洗方法？
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需求描述： 太陽(yáng)能光伏電池片生產(chǎn)過(guò)程中有PECVD工序，此工序是采用石墨及碳纖維承載框搭載硅片進(jìn)入等離子氣相沉積室，沉積室內(nèi)通過(guò)硅烷和氨氣，在高壓作用下在硅片表面沉積碳化硅薄層，同時(shí)，石墨及碳纖維承載框表面也會(huì)有氮化硅沉積，且沉積至一定厚度后對(duì)硅片涂層產(chǎn)生影響，故需要定期清理石墨及碳纖維承載框。 現(xiàn)需要：石墨及碳纖維承載框表面清理氮化硅涂層的方法？ [ Last edited by 冰點(diǎn)降溫 on 2017-2-27 at 09:55 ] |
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