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scalpel1985新蟲 (初入文壇)
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[交流]
金屬Ag的腐蝕如何實現(xiàn)，使用光刻膠作為掩膜
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大家好，我現(xiàn)在的器件，是聚酰亞胺薄膜上面，有6000Å 金屬Ag的膜層，也有的樣品接近1μm的Ag。現(xiàn)在我想在Ag膜上面腐蝕出寬度75~100μm的走道（將走道內(nèi)的Ag全部腐蝕掉）。但是工藝限制，我必須使用光刻膠作為掩膜，不知各位是否有相關經(jīng)驗？有什么手段可以將走道腐蝕出來而側(cè)蝕盡可能小？ 請大家不吝賜教！ 無標題.png |
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