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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 綜合其他 » pecvd鍍膜異常
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kingskyfull金蟲 (小有名氣)
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[求助]
pecvd鍍膜異常 已有1人參與
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| pecvd鍍非晶硅和氮化硅，基底用的單晶硅外延氧化硅和氮化硅的片子，發(fā)現(xiàn)鍍膜區(qū)出現(xiàn)“起皮”，在鍍膜的時候因為沒起輝，將射頻功率提高了8、9瓦，是射頻功率太大了嗎？起的皮是基底還是鍍的膜呢？該怎么解決呢？求各位幫忙，有點急，謝謝了 |
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2樓2017-03-19 13:57:16
kingskyfull
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3樓2017-03-19 15:04:53
匿名
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4樓2017-07-30 22:51:09
chenqisong
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5樓2017-08-26 00:17:37
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