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BONES_新蟲 (初入文壇)
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[求助]
請問磁控濺射的射頻電源輻射是不是特別大�。� 已有3人參與
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剛進(jìn)實驗室，聽說射頻電源有很大輻射，我們鍍膜一呆就是6 7個小時，表示很擔(dān)憂輻射的危害啊。請各位師兄師姐解答一下 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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BONES_
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2樓2017-03-28 10:42:45
sun346727296
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3樓2017-03-28 16:58:05
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4樓2017-03-31 21:17:36
5樓2017-09-29 11:05:06
【答案】應(yīng)助回帖
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首先電源存在輻射是肯定的，尤其是射頻電源，輻射尤其注意。 不過也別談蛇色變，關(guān)鍵是合理應(yīng)用： 1. 選用進(jìn)口電源，射頻這塊國內(nèi)差距還是很大，有實力選AE的； 2. 電源及匹配箱及與陰極之間的連線都要做好屏蔽，別暴露出來； 3. 電源匹配過程是最大輻射泄露的時候，因為匹配不好，反射功率高就意味著反射越高； 4. 如果近期打算要生baby，最好原理射頻。。。 國內(nèi)的射頻電源，反射功率2%以下都算好的，而國外電源能控制在1W以下，差距還是比較大的，再次建議購買進(jìn)口產(chǎn)品，以上。 |
6樓2017-12-04 18:00:59
Dongdeduoa
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7樓2018-01-10 17:32:14
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