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小mao同學(xué)

鐵蟲 (初入文壇)

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光刻顯影操作: 領(lǐng)取紅包 (小木蟲手機(jī)app專屬紅包)

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目前在做SU-8的光刻，用PGMEA顯影。但是顯影一直做不好，多次出現(xiàn)結(jié)構(gòu)被洗掉的情況。
想請(qǐng)教，怎樣把結(jié)構(gòu)洗出來，充分顯影。

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1樓 2017-04-12 16:24:03

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yswyx

專家顧問 (著名寫手)

★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

我們自己用SU8都是很好的，具體的工藝你可以像研材微納的技術(shù)組發(fā)郵件詢問技術(shù)問題。
你這個(gè)不屬于顯影的問題，是SU8和襯底的粘附性不好，有很多必須的手段才能解決，而且要具體分析你遇到的情況是哪一種。
SU8這個(gè)膠非常敏感，不是很容易就能掌握的。

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回復(fù)此樓

52樓2017-04-13 15:47:17

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

貪吃的小瓶?jī)?/a>

新蟲 (初入文壇)

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★
小mao同學(xué)(金幣+1): 謝謝參與

送紅花一朵

你用的是哪款SU8呢
曝光劑量多少？曝光時(shí)間多少？顯影時(shí)間多少呢？如果需要的話可以寫個(gè)實(shí)驗(yàn)報(bào)告，加上顯微鏡圖片，發(fā)我郵箱，我來幫您看下，zhaosp@rdmicro.com已獲得1個(gè)金幣

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20樓2017-04-12 16:32:19

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x小孩abc2樓

2017-04-12 16:24 回復(fù)

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被風(fēng)吹過4樓

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小熊哥哥大熊8樓

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柳靈風(fēng)聽雨11樓

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蓮花如夢(mèng)12樓

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虛懷若谷9913樓

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思辰14樓

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draon17樓

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pandongzi18樓

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