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dwx4062新蟲 (初入文壇)
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[求助]
微納加工圖案線條寬度不均勻 已有2人參與
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我制作的2um的長(zhǎng)條電極出現(xiàn)了電極寬度不均勻的現(xiàn)象，這是光刻時(shí)間問(wèn)題還是顯影的問(wèn)題？我在蘇州納米所做的，光刻機(jī)MA6-1，光刻膠ZA5214，曝光時(shí)間6s，顯影時(shí)間45s。 圖片1.jpg |
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dwx4062
新蟲 (初入文壇)
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- 蟲號(hào): 6302596
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- 專業(yè): 原子和分子物理
3樓2017-04-17 16:10:15
2樓2017-04-17 16:04:57
yswyx 
專家顧問(wèn) (著名寫手)
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【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
dwx4062: 金幣+5, ★★★★★最佳答案, 謝謝，按照你的建議，我仔細(xì)觀察了光刻板，果然是光刻板的圖案寬度不均勻。 2017-04-18 13:13:59
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
dwx4062: 金幣+5, ★★★★★最佳答案, 謝謝，按照你的建議，我仔細(xì)觀察了光刻板，果然是光刻板的圖案寬度不均勻。 2017-04-18 13:13:59
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從圖形上看，剛好是光刻版的場(chǎng)拼接的地方，線條寬度突然變小。應(yīng)該是光刻版的問(wèn)題。 你再觀察一下光刻版，看看是不是在某個(gè)地方突然變窄。 像你這么小的線條，制版的時(shí)候要注意，不僅僅要寫明最小的線寬，還要要求一下線寬的精度。你可以問(wèn)問(wèn)研材微納這邊制版的技術(shù)人員，一般的話，對(duì)應(yīng)的線寬和精度不一樣，價(jià)格也不一樣，你可以直接發(fā)郵件咨詢一下。 另外，2um的線條，我們建議用stepper做比較保險(xiǎn)。尤其是高密度長(zhǎng)線條。 還有一種可能是光刻膠厚度上有臺(tái)階，不過(guò)這種幾率非常小。 |
4樓2017-04-17 17:48:10
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5樓2017-04-17 18:18:47
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