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a503700672銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
購買ALD設(shè)備，需要關(guān)注什么參數(shù)，哪些牌子型號的比較靠譜？ 已有2人參與
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| 課題組準(zhǔn)備購買一臺國產(chǎn)的原子層沉積設(shè)備（ALD)，請問什么品牌和型號的比較好，招標(biāo)的時候主要關(guān)注哪些參數(shù)？請用過的各位大神能多指點(diǎn)。謝謝！ |
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cord 
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【答案】應(yīng)助回帖
★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
a503700672: 金幣+2, ★★★很有幫助 2017-04-20 09:20:15
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a503700672: 金幣+2, ★★★很有幫助 2017-04-20 09:20:15
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設(shè)備真空度，漏氣率，接口的制造方式，除了真空度需要保證（室溫的極限真空和做材料時的極限真空）還想要薄膜均勻性等都需要仔細(xì)考慮 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
2樓2017-04-19 11:08:14
3樓2017-04-19 23:53:04
a503700672
銀蟲 (小有名氣)
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4樓2017-04-20 09:21:00
a503700672
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5樓2017-04-20 09:26:00
yswyx
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6樓2017-04-24 18:50:54
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10樓2019-05-08 09:56:49
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