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rugby新蟲 (初入文壇)
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[交流]
請問哪里有實驗條件可做基于液體硅源（如TEOS）的SiO2 CVD 已有6人參與
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| 請問各位大俠，哪里有實驗條件可以做基于液體硅源（如TEOS）的CVD？我想通過基于TEOS的CVD或PECVD來長一層1微米的SiO2薄膜，要保證較好的step coverage，側(cè)壁長厚一點，這樣才有可能達到填充溝槽（fill gap）的效果。謝謝大家！ |
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zhanglang51 
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2樓2020-03-20 00:17:17
babyoflion
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6樓2022-11-08 09:17:26
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7樓2022-11-08 10:42:54
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