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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料工程 » 其他 » 容性耦合射頻等離子體不產生自偏壓？
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[求助]
容性耦合射頻等離子體不產生自偏壓？
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| 求問容性耦合射頻等離子體不產生自偏壓？匹配器上有個自偏壓表，起輝后未有反應，正常嗎？ |
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2樓2019-07-15 15:17:44
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