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[交流]
反應(yīng)離子刻蝕
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我最近在做反應(yīng)離子刻蝕實驗，發(fā)現(xiàn)100nm5硅片鍍銅怎么都刻蝕不掉，但是表面又呈現(xiàn)黑色，工藝就是鍍膜勻膠曝光顯影刻蝕，60nm結(jié)構(gòu)可以刻蝕出來，100nm怎么都刻蝕不出來，刻蝕參數(shù)是通的氬氣120sccm，偏壓310v，射頻功率106w，刻蝕時間1小時15分鐘，下面兩張圖片分別是刻蝕前后的�？涛g機是國產(chǎn)的jsd300rie。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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