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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 無機非金屬 » 綜合其它 » 半導體材料相關的，SiC濕氧氧化
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[求助]
半導體材料相關的，SiC濕氧氧化
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| 我是學習半導體器件方向的學生，在閱讀前人的文獻時，我發(fā)現(xiàn)SiC濕氧氧化制作MOS界面幾乎不存在缺點，那為什么工業(yè)上碳化硅的氧化進程大部分還是使用干氧氧化呢？可否有相關文獻或者書籍，讓我了解一下關于SiC濕氧氧化的缺點呢？ |
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