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tianye8801銀蟲 (初入文壇)
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[求助]
老師您好，請問國內(nèi)（尤其北京）哪里可以做硅片端面拋光的？我們...
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老師您好，請問國內(nèi)（尤其北京）哪里可以做硅片端面拋光的？我們代工了一批硅片，采用端面耦合方式，但是端面沒處理好，光耦合不進(jìn)去，是否可以用機(jī)械化學(xué)拋光進(jìn)行補(bǔ)救？光波導(dǎo)端面尺寸在200nm左右… @yswyx 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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tianye8801
銀蟲 (初入文壇)
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- 專業(yè): 光子與光電子器件
2樓2017-06-30 00:31:06
tianye8801
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第一張圖是波導(dǎo)端面的SEM圖，第二張是芯片的照片，芯片端面采用深刻蝕的方式刻下去的，形成了一個(gè)約10um高的臺(tái)階 @yswyx 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
3樓2017-06-30 00:32:50
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