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在硅片上旋涂TiO2開裂，成膜不均勻怎么解決？ 已有1人參與
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| 乙醇和水1:1分散TiO2在硅片上旋涂，旋出的膜嚴重開裂，且呈現(xiàn)放射狀，哪位可以給點建議�。肯仍诠杵贤恳粚泳酆衔�，再在其上旋涂TiO2仍然是這樣，之前做的都很好，最近半個月突然這樣，是溫度影響么？哪位前輩能給些指點啊？？？ |
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swallowqiu
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2樓2018-08-27 17:18:40
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3樓2018-08-27 18:34:04
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