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[求助]
直流磁控濺射時，電流幾乎為零，電壓較大，求助怎么解決？ 已有1人參與
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我鍍的是鉬薄膜，在進行直流磁控濺射的過程中，在真空度為5Pa時起輝，但是調小氣壓時，電流表不斷減小幾乎為零，電壓表不斷增大，但是起輝正常，里面還有光亮，當我們加大氣壓至20Pa左右時，起輝出現(xiàn)閃光現(xiàn)象，并且電流跳動，求這是怎么回事，怎么解決？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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peterflyer 
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- 專業(yè): 功能陶瓷
2樓2017-08-03 21:10:40
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1.減小氣流，電流減小，電壓升高 正�，F(xiàn)象。2.工作壓力變大，電流表不穩(wěn)定，應該是濺射靶頭出現(xiàn)了短路。 另直流磁控濺射的正常工作壓力應該在5pa 一下。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2017-08-07 10:24:21
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