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643307614新蟲 (初入文壇)
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[求助]
關(guān)于ALD在低熔點(diǎn)金屬上沉積其他物質(zhì)的問題
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小弟小白一個(gè)，有問題想請(qǐng)教各位大神： 如果想用ALD在低熔點(diǎn)金屬（如鈉97℃、鋰180℃）上沉積其他物質(zhì)，普通的ALD設(shè)備在沉積過程中的溫度范圍是多少，在不使得金屬熔化的前提下能否完成沉積，如果不行的話是否要使用PEALD設(shè)備，以降低成膜的溫度，來完成沉積？ 以下兩篇文獻(xiàn)均在鈉金屬上進(jìn)行沉積，但是分別使用了PEALD設(shè)備和普通的ALD設(shè)備，小弟搞不懂了，供各位大神參考，還望不吝賜教！謝謝！ |
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- 附件 2 : Zhao_et_al-2017-Advanced_Materials(2).pdf
2017-09-05 14:09:31, 1.25 M
2017-09-05 14:12:32, 1.74 M
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2樓2018-04-24 14:16:19
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