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N2,H2,TiCl4為原料，在316不銹鋼上沉積TiN涂層用手一碰就掉？求指導(dǎo)啊！ 已有2人參與
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如題，想在316的不銹鋼在上面沉積TiN涂層，用H2,N2,TiCl4為氣體，在950℃沉積的涂層為什么用手一碰就掉，我按照文獻上的參數(shù)，H2為360ml/min,N2為160ml/min，為啥一碰就掉，而且不是涂層，就是在基體上長了一層粉，求助啊。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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