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[求助]
求助溶膠凝膠法制備Li摻雜NiO薄膜，導電性一直不好
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| 我用溶膠凝膠旋涂了鋰百分之九摻雜的氧化鎳薄膜，退火后不管是從顏色深度上還是導電性都比用PLD長的薄膜差很多，PLD長的電阻是千歐級別的 我用溶膠凝膠長的薄膜是兆歐級別的，雖然溶膠凝膠長出來的薄膜質(zhì)量比不過PLD，但是電阻也差太多了。我懷疑是摻雜的鋰在煅燒和退火過程飛走了，我一般的煅燒程序是用管式爐 5攝氏度／分鐘 升溫到300攝氏度恒溫15分鐘 自然冷卻后再進行第二次旋涂，最后升溫到450攝氏度恒溫一小時后自然冷卻。 之前一直是用550攝氏度退火的，由于懷疑時溫度過高讓鋰飛走，將溫度降到450攝氏度，但是結(jié)果還是一樣。求助大神 |
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3樓2017-09-19 09:45:59
dengdenger
新蟲 (小有名氣)
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- 專業(yè): 半導體晶體與薄膜材料
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根據(jù)你的溶劑和穩(wěn)定劑，來選擇格式的熱處理溫度�？紤]膜厚度，是否有效摻雜，不過這個電阻，應該是沒摻雜進去。有條件測個霍爾，看看載流子濃度和遷移率。重新考慮一下溶劑和穩(wěn)定劑吧 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
2樓2017-09-19 08:45:46
5樓2018-05-15 20:59:37
6樓2018-05-15 21:00:32
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