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大家有沒有用過數(shù)字全息顯微鏡DHM？做微納表征MEMS方面的
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做MEMS微納表征的一般都是白光干涉儀WLI、激光掃描共聚焦顯微鏡CLSM、原子力顯微鏡等工具，16年北大買了一臺全息顯微鏡來做搭建平面應力鼓膜的研究，清華也買了一臺做MEMS。關于這些儀器的差別，這邊有一個對比： 簡介 數(shù)字全息顯微鏡 (DHM®  為靜態(tài)三維形貌測量提供干涉測量級的亞納米分辨率。得益于獨特的非掃描全息技術，DHM®的圖像抓取時間極短，最快可達1毫秒，這一特性在MEMS方向擁有獨特的優(yōu)勢。是測量微納三維動態(tài)形貌的一種新的手段。DHM VS 掃描顯微系統(tǒng)： DHM實時3 d動態(tài)輪廓儀通過以高時間分辨率測量三維形貌克服了任何掃描方法的局限性。 白光干涉儀(WLI) 共聚焦激光掃描顯微鏡(CLSM) 接觸式表面光度儀 特征 DHM® 掃描系統(tǒng) 時間分辨測量 √ × 大的區(qū)域acc.達到ISO標準 Seconds minutes 快速篩選大量樣品 √ × 無振動系統(tǒng)不敏感 √ × DHM® VS白光干涉儀(WLI) 另外相比任何掃描方法的優(yōu)勢，DHM®至少有2 點 相比WL的I主要區(qū)別： DHM®相干長度是400μm，而WLI只有15μm。實際上，這意味著與DHM®，集中焦點比得上標準的光學顯微鏡。相反，使用WLI，用戶需要搜索條紋，傾斜樣本使樣本在這個小范圍內測量表面。 DHM®是一個更靈活的工具，因為它使用物鏡通過玻璃或者浸入式從光學顯微鏡測量。WLI要求特定的干涉儀目標，有限且復雜的玻璃補償。 Features DHM WLI 時間分辨測量 √ × 樣品設置，不需要傾斜樣品 √ × 直觀聚焦的大垂直可視化范圍 √ × 用標準光學顯微鏡對玻璃進行測量 √ × 可拆卸和靈活的儀表頭 √ × DHM® VS共聚焦激光掃描顯微鏡（CLSM） 另外除了任何相比掃描方法優(yōu)勢，DHM®相比CLSM至少2關鍵差異 DHM®垂直分辨率并不依賴于放大倍數(shù)，即在顯微鏡物鏡的數(shù)值孔徑(NA)。與此相反，CLSM的垂直分辨率依賴于焦點的深度，而其會降低物鏡的NA。 DHM®垂直分辨率達到亞納米精度，而CLSM使用高NA物鏡最終的垂直分辨率樣品形貌分辨率幾個納米 是 Features DHM CLSM 時間分辨測量 √ × 對曲率的數(shù)字補償有很大的深度 √ × 可拆卸和靈活的儀表頭 √ × DHM® VS接觸式輪廓儀 除了相比任何掃描方法的優(yōu)勢外，DHM®是一個非接觸式光學表面光度儀，因此方法防止任何接觸損害。與觸點測量儀(如觸控器和AFM)的測量，可能會因表面的彈性變形、尖端的污垢或損壞的尖端而受到影響。 Features DHM® Contact profilometer 時間分辨率測量 √ × 快速篩選表面，尋找感興趣區(qū)域 √ × 通過玻璃和浸入式測量 √ × 非接觸、無損方法 √ × 附： DHM性能參數(shù)簡介 重建速率 標準20 fps (1024 x 1024 pixels hologram) (optional up to 50 fps). 垂直分辨率 0.2 nm 垂直校準 由波長決定，無機械運動校準 垂直測量范圍（非掃描） • 連續(xù)結構高至200μm • 臺階高至15μm 垂直測量范圍（掃描） 高至1mm，取決于樣品臺Z軸 水平分辨率 取決于物鏡，低至300nm Field of view 取決于物鏡，最大 5 mm x 5 mm Min. sample reflectivity Less than 1% * 1 measurement is the average of 10 acquisitions |
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dgf2008: 屏蔽內容, 違規(guī)存檔, 違規(guī)發(fā)布廣告！ 2017-09-27 12:55:18
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2樓2017-09-27 08:56:44
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