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wawa3587新蟲 (初入文壇)
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[求助]
小白跪求解答，制備AlN，XRD測(cè)不出峰值？
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求助求助，利用CVD法在si片制備AlN，Al源用的無水AlCl3粉末，N源采用氨氣，調(diào)整溫度時(shí)間氣流量等參數(shù)，反應(yīng)后片子上有點(diǎn)非常薄白色的一層，但是XRD 測(cè)不出任何峰值，也測(cè)試了反應(yīng)后粉末未有結(jié)構(gòu)，考慮過是沒有反應(yīng)，或者生成NH4Cl，但是粉末也沒分析出產(chǎn)物，實(shí)在不知道求大神分析原因，不勝感激 |
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2樓2017-10-31 09:46:59
wawa3587
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3樓2017-10-31 10:00:54
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4樓2017-10-31 10:22:11
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5樓2017-10-31 12:57:42
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