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magnoliadou新蟲 (小有名氣)
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[交流]
如何增強pdms在石英晶片上旋涂后的粘合程度
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石英晶片的qcm應用 我希望在圓形石英晶片上旋涂一層pdms后去掉中心的pdms 剩余的pdms環(huán)柱體作為測量腔支撐壁 高度為80微米左右 徑為0.8mm左右 在其上再鍵合玻璃作為上蓋 但制程中發(fā)現(xiàn)旋涂后pdms在石英晶片上貼合不緊易脫落 這樣在測量時通入溶液會有漏液問題。。因此想請教應該如何增加旋涂的pdms與石英基底的粘合程度使旋涂后較為緊密~謝謝~ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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3樓2018-01-17 04:23:53
magnoliadou
新蟲 (小有名氣)
2樓2017-12-15 17:00:05
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