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我依然的笑新蟲 (初入文壇)
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[求助]
光刻時(shí)遇到的問(wèn)題
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1 光刻掩膜版如何清洗，用丙酮超聲可不可以？ 2 負(fù)膠在曝光之后如何去掉，用專門的剝離液去膠效果并不是特別好 3 大家選用的正膠與負(fù)膠是哪一種，具體怎么使用，曝光與前烘后烘都用了多長(zhǎng)時(shí)間 |
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心如
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1。可以 小心就行。我們一般是丙酮擦洗 乙醇擦洗。若還有污漬，就硫酸＋雙氧水煮一下吧，這樣下來(lái)一半都感覺(jué)了。2，不太清楚你的工藝。3，正膠：蘇州瑞紅產(chǎn)的3038，具體那個(gè)型號(hào)還真沒(méi)仔細(xì)看！前烘120°15分鐘，堅(jiān)膜100°15分鐘。負(fù)膠 北京微電子什么公司的 前烘80° 堅(jiān)膜100° 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
2樓2018-01-30 23:37:14
我依然的笑
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3樓2018-01-31 09:26:48
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4樓2018-01-31 22:26:11
心如
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5樓2018-01-31 22:27:17
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