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cmshi木蟲 (著名寫手)
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[求助]
電弧離子鍍和磁控濺射的粒子能量
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周知，電弧離子鍍和磁控濺射在鍍膜前一般都會(huì)用較高的負(fù)偏壓轟擊樣品表面，我想知道兩種方法各自的離子能量是多少eV，轉(zhuǎn)換成離子溫度是多少℃？大致的數(shù)量級(jí)即可，多謝多謝 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2018-01-31 21:15:56
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