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眾誠達(dá)靶材
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[交流]
靶材無法起輝常見原因分析
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無法起輝的原因有很多，常見主要原因有： 1. 靶材安裝準(zhǔn)確否? 2. 靶材表面是否干凈------------金屬靶表面氧化或有不清潔物質(zhì)，打磨清理干凈后即可 3. 起輝電源是否正常------------檢查靶電源 4. 靶與地線之間短路 ----------關(guān)掉機(jī)器，把設(shè)備的濺射靶卸下來，靶附近的零件仔細(xì)清洗一下； ----------壓條過緊，沒有和靶材之間留下適當(dāng)?shù)木嚯x，調(diào)整距離即可。 5. 永磁靶表面場(chǎng)強(qiáng)是否下降太多？ ---------如果下降太多，需要更換磁鋼。 6. 起輝濺射真空度與前次的差別？ ---------更換不同的靶材，起輝壓強(qiáng)不盡相同。 7、換靶材后需要重新調(diào)功率匹配器的，只有功率匹配調(diào)好了才能正常起輝 |
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