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040941033金蟲 (正式寫手)
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[交流]
化學氣相沉積技術(shù)中的高純金屬摻雜材料（MOCVD）
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| 請教：用于化學氣相沉積技術(shù)（CVD）和原子層沉積（ALD）中的具有揮發(fā)性的高純金屬摻雜材料可以從哪來獲得呢？純度對相關(guān)實驗結(jié)果影響是怎樣的呢？請從事這方面研究的牛人指導下，歡迎大家交流，謝謝！ |
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
040941033: 金幣+5 2018-03-24 16:02:44
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
040941033: 金幣+5 2018-03-24 16:02:44
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金屬源一般都是金屬有機化合物，對熱穩(wěn)定性和揮發(fā)性要求較高。純度對薄膜的質(zhì)量有影響。如果有不懂可以相互交流！ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
5樓2018-03-21 23:09:36
3樓2018-03-17 17:23:04
4樓2018-03-17 17:25:32
040941033
金蟲 (正式寫手)
- 應助: 1 (幼兒園)
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- 專業(yè): 配位化學
6樓2018-03-24 16:04:19
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