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XPS做depth profile的問題 已有1人參與
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求助大家, 我在做用XPS做depth profiling的時候,出現(xiàn)了基線(非峰的計數(shù)構成的那條底線)隨著etching的層數(shù)增加而上升的問題。 請問是為什么? 拜謝 |
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