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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料化學 » 求paper一片，半導體刻蝕相關的
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[求助]
求paper一片，半導體刻蝕相關的
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Dry Etching of Mo based layers and its interdependence with a poly-Si/MoOxNy/TiN/HfO2 gate stack V.Paraschiv，W.Boullart，E.Altamirano-Sánchez 《Microelectronic Engineering》 Volume 105, May 2013, Pages 60-64 |
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