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jichenxi0730鐵蟲 (小有名氣)
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[交流]
除了等離子體，用激光刻蝕石墨烯薄膜靠譜嗎？ 已有2人參與
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有大神用過嗎？那種更穩(wěn)定一些啊，用等離子體刻蝕去除光刻膠我怕我的樣品掛了。。樣品厚度25μm，像紙張一樣 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
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我用過RIE的氧氣等離子體刻蝕過石墨烯，只要控制功率和時間，一般不會刻蝕掉光刻膠，我刻蝕也就60s左右，時間不能太長的！具體可在交流！ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
2樓2018-07-02 08:00:14
jichenxi0730
鐵蟲 (小有名氣)
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- 專業(yè): 熱物性與熱物理測試技術(shù)
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我用的是ICP，石墨烯用氧氣刻是層層刻蝕的，時間長了它被刻蝕的面積會整體變薄吧。你時間短刻蝕的，它表面出現(xiàn)了一個一個的小孔嗎？你只做了有光刻膠的嗎？ 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
3樓2018-07-02 09:32:47
武漢元祿光電
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4樓2019-06-21 15:32:09
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