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[求助]
請教各位使用臺階儀和橢偏儀測量薄膜厚度的問題 已有4人參與
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請教各位，我在硅片表面鍍膜。如果用臺階儀測量薄膜厚度，都有什么方法制造好的臺階？ 另外，薄膜只知道元素，具體的成分不確定，也不是一種，這種可以用橢偏儀測量厚度嗎？ 十分感謝各位！ |
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3樓2018-07-25 15:26:01
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2樓2018-07-25 15:08:41
4樓2018-07-25 20:47:31
5樓2018-07-25 20:54:04
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