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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 基礎研究 » 高氣壓下如何沉積薄膜
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XSM815498719鐵蟲 (小有名氣)
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[求助]
高氣壓下如何沉積薄膜
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| 一般的PVD都是在低工作氣壓下（1Pa以下），來沉積薄膜。那么，如何在高氣壓下（100 Pa-150 Pa）實現(xiàn)薄膜的沉積呢？ 如果可行，高氣壓下沉積的薄膜的質量如何，如何去提升這種薄膜的質量？ 謝謝！ |
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2樓2018-08-22 07:55:23
XSM815498719
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3樓2018-08-22 14:36:04
4樓2018-08-22 19:33:24
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5樓2018-08-22 19:54:36
6樓2018-08-22 23:41:19
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