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18893110626新蟲 (小有名氣)
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[求助]
導(dǎo)電玻璃上測SEM 已有3人參與
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導(dǎo)電玻璃上測得的SEM照片不清晰怎么辦?而且在調(diào)大放大倍數(shù)時樣品表面還會出現(xiàn)燒痕。樣品制備時有在導(dǎo)電玻璃表面包裹導(dǎo)電膠,求各位大神指教。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
金蟲 (小有名氣)
新蟲 (小有名氣)
專家顧問 (文壇精英)
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專家經(jīng)驗: +1654 |
鐵桿木蟲 (正式寫手)
| 導(dǎo)電玻璃上的樣品測sem確實會發(fā)生這個問題,電子不能及時導(dǎo)走出現(xiàn)了堆積,從而出現(xiàn)很亮的斑或者線條。我做了七八年sem了,個人有一些建議。1. 適當(dāng)調(diào)整電壓電流大小,比如調(diào)整到低一點的電壓,2KV甚至1kV,分辨率會下降,但是亮的條紋會少。2. 選擇區(qū)域拍照時,盡量選擇靠近你所說的表面貼附了導(dǎo)電膠的部分進行拍照,畢竟選擇的區(qū)域并不會太大。3. 如果你會使用SEM的drift功能,也能有點幫助,或者在聚焦好了以后,調(diào)低sem的掃描速率后,全屏選擇快速拍照 |
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新蟲 (文壇精英)
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