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polaris953金蟲 (小有名氣)
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[交流]
【求助】關(guān)于Si氧化的問題，急！
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| 想請(qǐng)教一下，Si氧化時(shí)一般是先通氮?dú)�，然后再通氧氣進(jìn)行氧化。想問一下這里的通入氮?dú)獾闹饕饔檬鞘裁�？只是排空嗎？是不是還有別的作用？要是不先通氮?dú)�，直接先通著氧氣，這樣不也能排空嗎？他們之間有什么差別？ |
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