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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 交流互助 » 反應離子刻蝕玻璃時表面會發(fā)白
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[交流]
反應離子刻蝕玻璃時表面會發(fā)白
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| 跟大家交流個問題，我用反應離子刻蝕表面具有金掩膜版的玻璃時，時間一長，表面會有發(fā)白的現(xiàn)象（強光下）。我嘗試用Piranha溶液清洗也清洗不掉，想問問可否有人有相關經驗，這個白色是由于我的結構導致的光的反射折射現(xiàn)象還是由于CF4刻蝕的時候產生的一些氟化的產物，該如何去除，希望有經驗的大佬提醒一下。 |
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9樓2018-11-01 22:15:14
13樓2018-11-02 06:20:28
22樓2018-11-07 16:42:27
簡單回復
2018-11-01 20:33
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2018-11-01 21:02
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kingluck4樓
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psylhh5樓
2018-11-01 21:25
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tzynew6樓
2018-11-01 21:43
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youngen7樓
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2018-11-01 21:58
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nono200910樓
2018-11-01 22:18
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syhorchid11樓
2018-11-02 00:12
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xiaoqiuqiu2012樓
2018-11-02 01:38
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shenrenren14樓
2018-11-02 06:54
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zhl12100815樓
2018-11-02 07:02
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miaojiabing16樓
2018-11-02 08:44
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hongyingwu17樓
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2018-11-03 17:44
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youngen19樓
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2018-11-06 14:09
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jiaoxg21樓
2018-11-06 14:35
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陽澄湖老螃23樓
2020-01-25 18:16
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