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caiyu820306金蟲 (小有名氣)
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[交流]
【請教】SEM所分析的樣品需要拋光嗎?
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| 請問做SEM之前,所需要處理的樣品需要很光滑嗎?謝謝指教。 |
銀蟲 (小有名氣)
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對的。通常我們所說的SEM只是一個(gè)統(tǒng)稱,其實(shí)SEM的功能主要由其配件也就是各種探頭來實(shí)現(xiàn)。 現(xiàn)在的掃描電鏡出了二次電子探頭外(SE,觀察形貌)都配有BSE(背散射探頭,觀察成分像)、EDS/EDX(x射線能量散射普)、WDS(x射線波長散射普,較少),此外還有EBSD(電子背散射衍射系統(tǒng)) 根據(jù)你要觀察的情況選在制樣手段 一般的端口形貌觀察,拍攝SE像,試樣清洗干凈,保證我油污無粉塵干燥導(dǎo)電既可以; 對于金相樣,觀察晶界,第二相,需要拋光處理(電解、機(jī)械、振動(dòng)都可以); 觀察成分像(第二相或者枝晶),拍攝BSE時(shí),也需要拋光處理,保證樣品表面平整; EBSD或稱EBSP(電子背散射衍射花樣)不僅僅是拋光處理,盡量做到表面無應(yīng)力,才能得到較清晰的花樣,一般采用電解或振動(dòng)拋光,也有蝕刻等其他制樣方法 |
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