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taony木蟲(chóng) (正式寫手)
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[求助]
磁控濺射設(shè)備射頻電源故障求助，請(qǐng)高手指點(diǎn)！ 已有1人參與
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磁控濺射設(shè)備射頻電源只有電壓沒(méi)有電流，請(qǐng)教故障原因，請(qǐng)高手指點(diǎn)！ |
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3樓2019-12-16 12:03:41
2樓2019-12-16 09:25:07
工藝混子
新蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 171.4
- 帖子: 71
- 在線: 3.7小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 21281351
- 注冊(cè): 2020-02-28
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
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接線有沒(méi)有接好，如果沒(méi)問(wèn)題的話，看一下射頻電源匹配是不是手動(dòng)的模式，沒(méi)有匹配好 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
4樓2020-03-08 21:36:25
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