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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 學術討論 » ALD尤其是PEALD相關機理
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[交流]
ALD尤其是PEALD相關機理 已有1人參與
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各位大佬，哪位朋友能給推薦兩文獻或者專著介紹ALD機理的啊，比如說前驅體流量對成膜的影響啊等等的……現(xiàn)在看網(wǎng)上的相關信息感覺講得都太淺了，都是面上泛泛的信息……感謝…… 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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推薦兩本書《原子層沉積技術原理與應用》南京大學李愛東編著。《等離子體科學技術及其在工業(yè)中的應用》北京印刷學院 陳強編著。都是國內ALD領域的大佬 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
2樓2020-03-19 21:06:21
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