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ws4231153新蟲 (小有名氣)
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磁控濺射過3分鐘,濺射電壓升高 已有1人參與
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| 請教一下,最近做磁控濺射合金靶,一開始濺射電壓400V左右,過了3分鐘,一秒升高1V,沒幾分鐘就升高到500 600V了,請問是什么原因呢?每次做之前也打磨了靶材,3分鐘之前都挺穩(wěn)定,3分鐘之后就急速上升,這樣濺射時間可不敢做久了 |
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鐵蟲 (初入文壇)
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