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xrq0525金蟲 (正式寫手)
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[求助]
關(guān)于光刻膠選擇的問題，請教一下前輩們
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準(zhǔn)備制作微結(jié)構(gòu)材料，要直接用顯影后的光刻膠硅片做陰模，微結(jié)構(gòu)尺寸20微米，高度10微米，間距3微米，是用su-8還是AZ好一些呢？主要是精度要夠。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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xrq05252樓2021-07-09 18:32:03
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3樓2021-07-09 19:38:28
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我覺得沒有問題，深寬比也只有3！您是間距3，又不是留下來3！精準(zhǔn)控制就看工藝了 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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4樓2021-07-09 19:45:12
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5樓2021-07-09 20:04:10
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也不說做不到，相對很難！畢竟正膠！我7u直徑22u高柱子是做過！但是同比降下來還沒試過！ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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6樓2021-07-09 22:36:01
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7樓2021-07-10 00:38:38
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