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ketianying銅蟲 (初入文壇)
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[交流]
【求助】硅烷中雜質(zhì)氣體的分析方法和儀器
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硅烷中雜質(zhì)氣體的分析方法和儀器 SiH4和H2混合氣體中(體積百分濃度均為百分之幾十)的Si2H6，B2H6，AsH3，PH3，NH3五種主要雜質(zhì),最低檢測限為10ppb, CH4，CO，CO2次要檢測對象，檢測限為0.1ppm. 請問大家,應(yīng)該采用什么檢測方法, 麻煩幫忙推薦能夠分析上述樣品的分析儀器,多謝了! |
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2樓2011-03-15 12:43:42
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3樓2011-03-16 14:43:05
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