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Joindenver銀蟲 (小有名氣)
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[交流]
【求助】薄膜比基體軟 如何讀硬度值 已有1人參與
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| 小弟做了用化學(xué)氣相沉積技術(shù)在硅片上沉積了厚度約為350nm厚的DLC膜。用Nano-indenter XP測試了薄膜的納米力學(xué)性能。但發(fā)現(xiàn)薄膜硬度比基體低（圖中沒有峰值）。那這時如何讀取薄膜的硬度值呢？ |
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sjh717142
新蟲 (初入文壇)
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2樓2010-12-13 15:42:40
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