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yugan2008銀蟲(chóng) (初入文壇)
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[交流]
【討論】0.5～2個(gè)微米微納加工，你用什么加工方法？ 已有10人參與
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各為同仁，現(xiàn)在進(jìn)行有獎(jiǎng)?wù){(diào)查，嘿嘿，問(wèn)題如下，有時(shí)間的幫忙回個(gè)郵件到我郵箱：wendy_cn@163.com，一份問(wèn)卷贈(zèng)送10個(gè)金幣，不夠再加，拜托啦 微納加工服務(wù)需求調(diào)查表 各位專(zhuān)家、同仁： 為促進(jìn)精度在0.5～2微米范圍內(nèi)的微納加工技術(shù)的發(fā)展和成本節(jié)約，**研究所擬建立無(wú)掩模光刻技術(shù)服務(wù)平臺(tái)，為進(jìn)一步了解行業(yè)需求與問(wèn)題，請(qǐng)專(zhuān)家根據(jù)您的實(shí)際狀況、需求及個(gè)人判斷填寫(xiě)以下表格。 一、 專(zhuān)家基本情況 姓名 所屬行業(yè) 職務(wù) 工作單位 聯(lián)系方式 電話 二、請(qǐng)您對(duì)以下問(wèn)題作出選擇 1. 您所從事的微納加工的領(lǐng)域 A. 微電子 B. 微光學(xué) C. 微機(jī)械 D. 光電子 E. 生物分子電子學(xué) F. 其他 2. 您進(jìn)行微納加工主要是 A．科研需求 B. 開(kāi)發(fā)新品 C．量產(chǎn) D．其他 3. 您在微納加工中所需要的加工精度 A. 小于100nm B. 0.1～0.5um C. 0.5～2um D. 2um以上 4. 您在微納加工中的所需要的晶圓規(guī)格 A. 4英寸 B. 6英寸 C. 8英寸 D.> 8英寸 D. 其他 5. 目前您在微納加工中所選用的加工方式（可多選） A. 電子束直寫(xiě)加工 B. 電子束制版+投影式光學(xué)曝光加工 C. 激光直寫(xiě) D. 聚焦離子束加工 E. 掃描探針加工 F. 納米壓印 G. 其他 6. 您的微納加工工藝是否需要套刻 A. 不需要 B. 需要 7. 您進(jìn)行微納加工的渠道是 A．購(gòu)買(mǎi)設(shè)備，自行生產(chǎn) B．外協(xié)代工，批量生產(chǎn) C．公共服務(wù)平臺(tái) D．其他 8. 您在加工制造過(guò)程中是否遇到以下問(wèn)題（可多選） A. 加工設(shè)備精度不夠 B. 代工費(fèi)用高 C. 加工周期長(zhǎng) D. 其他 三、 請(qǐng)對(duì)您在目前的微納米加工制造，尤其是圖形轉(zhuǎn)移的光刻環(huán)節(jié)中，遇到的問(wèn)題、需求和希望得到的服務(wù)給予簡(jiǎn)單描述： [ Last edited by yugan2008 on 2010-3-1 at 19:45 ] |
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