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[交流]
【討論】0.5～2個微米微納加工，你用什么加工方法？ 已有10人參與
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各為同仁，現(xiàn)在進行有獎調(diào)查，嘿嘿，問題如下，有時間的幫忙回個郵件到我郵箱：wendy_cn@163.com，一份問卷贈送10個金幣，不夠再加，拜托啦 微納加工服務需求調(diào)查表 各位專家、同仁： 為促進精度在0.5～2微米范圍內(nèi)的微納加工技術的發(fā)展和成本節(jié)約，**研究所擬建立無掩模光刻技術服務平臺，為進一步了解行業(yè)需求與問題，請專家根據(jù)您的實際狀況、需求及個人判斷填寫以下表格。 一、 專家基本情況 姓名 所屬行業(yè) 職務 工作單位 聯(lián)系方式 電話 二、請您對以下問題作出選擇 1. 您所從事的微納加工的領域 A. 微電子 B. 微光學 C. 微機械 D. 光電子 E. 生物分子電子學 F. 其他 2. 您進行微納加工主要是 A．科研需求 B. 開發(fā)新品 C．量產(chǎn) D．其他 3. 您在微納加工中所需要的加工精度 A. 小于100nm B. 0.1～0.5um C. 0.5～2um D. 2um以上 4. 您在微納加工中的所需要的晶圓規(guī)格 A. 4英寸 B. 6英寸 C. 8英寸 D.> 8英寸 D. 其他 5. 目前您在微納加工中所選用的加工方式（可多選） A. 電子束直寫加工 B. 電子束制版+投影式光學曝光加工 C. 激光直寫 D. 聚焦離子束加工 E. 掃描探針加工 F. 納米壓印 G. 其他 6. 您的微納加工工藝是否需要套刻 A. 不需要 B. 需要 7. 您進行微納加工的渠道是 A．購買設備，自行生產(chǎn) B．外協(xié)代工，批量生產(chǎn) C．公共服務平臺 D．其他 8. 您在加工制造過程中是否遇到以下問題（可多選） A. 加工設備精度不夠 B. 代工費用高 C. 加工周期長 D. 其他 三、 請對您在目前的微納米加工制造，尤其是圖形轉移的光刻環(huán)節(jié)中，遇到的問題、需求和希望得到的服務給予簡單描述： [ Last edited by yugan2008 on 2010-3-1 at 19:45 ] |
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LQQ1986
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