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[交流]
【討論】大家都是怎么清洗基片的？
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我對基片的干凈度要求很高，可是感覺還是洗的不是很干凈。一般基片上都會存在什么樣的雜質(zhì)��？大家互相交流，希望可以學(xué)習(xí)哦 呵呵 我一般的清洗程序：希望大家也把各自的清洗方法都寫下 交流啊 硅片的清洗：丙酮超聲10min-乙醇超聲10min-去離子水超聲10min-最后去離子水沖洗-然后自然晾干或者是放置于乙醇中使用的時候拿出來吹風(fēng)機吹干 載玻片的清洗：洗衣粉洗潔精泡一天-手搓洗-然后放置于3:1硫酸：過氧化氫中在80度中放置2個小時-使用丙酮超聲10min-乙醇超聲10min-去離子水超聲10min-去離子水沖洗-放置于乙醇中使用時拿出吹干 [ Last edited by 糊涂的snow on 2010-3-8 at 11:31 ] |
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 學(xué)習(xí)資料 | 納米片 |
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5樓2010-03-08 16:12:17
yfju
金蟲 (正式寫手)
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- 金幣: 235.6
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
3樓2010-03-08 13:47:04
4樓2010-03-08 13:49:47
6樓2010-03-08 16:19:22
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