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【求助】316L VAR不銹鋼材料 已有6人參與
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大家好,請幫忙提供316L VAR不銹鋼的性能,特性,用途? 謝謝各位了。 |
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金蟲 (正式寫手)
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多年前,半導體,集成電路,生物制約行業(yè)輸送純凈介質(氣體)的管路采用的管道還是普通的不銹鋼管道,雖然管道的材料和安裝成本較低,但良率(合格率)卻很低.更嚴重的問題是:隨著芯片集成度的提高,線寬的越來越小,對傳輸氣體和介質的管路提出更高的要求,管路的質量成了制約芯片產量和集成度提高的瓶頸.就在那時,日本東北大學的一位教授就這些問題前往美國的一家芯片廠調研,針對這些問題,他聯(lián)合日本的神戶特殊剛廠共同研發(fā)適合傳輸高純超高純氣體的不銹鋼管道,經(jīng)過多次研制,最后成功研制出精煉母材經(jīng)過特殊冷軋的BA 管(光亮退火不銹鋼管),后在此基礎上,又發(fā)明了EP 管。通過對管道系統(tǒng)的改進,芯片集成度,產量有了極大的提高,高科技產業(yè)在最近幾年有了飛速發(fā)展。芯片,設計,版圖,晶圓制造,工藝,制程,封裝,測試,wafer,chip,ic,design,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA'n0W0m l"o U G1B4Z q B, 超純,潔凈管道系統(tǒng)的真正含義 8e5G J Y*u A4k*|!g半導體技術天地[Semiconductor Technology World]半導體,集成電路,生物制約行業(yè)輸送純凈介質(氣體)的高純管路是一種綜合考慮組織安定性,耐蝕性,加工性的最優(yōu)化不銹鋼管.要確保系統(tǒng)中立,我們要強調表面粗糙度Ra 值和自身的潔凈,使顆粒發(fā)生和堆積滯留得到有效抑止.為了確保可焊接性及焊接質量,要求保證尺寸公差,母材的化學成分.這樣才能確保在焊接時降低煙氣的發(fā)生,顆粒的產生及提高焊接部位的耐蝕性和平滑性。.總而言之, 高純管路既要有漂亮的外表 (外在的純凈), 又要有貨真價實的材質 (內在的純凈). ,s U ~,\ L v2Q1,外在的純凈,有別于傳統(tǒng)不銹鋼管道內外表面灰蒙蒙,凹凸不平的感覺,現(xiàn)在的超純,潔凈管道不僅有锃亮的外表,同時也有較好的內表面粗糙度, 以確保管道系統(tǒng)對傳輸?shù)慕橘|保持中立以及保證最佳的徹底吹掃及清洗性能, 現(xiàn)在工程師及技術人員常常提及的表面粗糙度Ra 值就是對管道系統(tǒng)內表面粗糙度的基本要求.為了確保自動軌道焊接的質量和效率,尺寸公差當然也是最基本的要求。芯片,設計,版圖,芯片制造,工藝,制程,封裝,測試,wafer,chip,ic,process,layout,package,FA,QA!^#k;[ ]/Y&q { 2,內在的純凈指純凈的材質:真正意義上的超純, 潔凈管道僅有漂亮的內外表面是遠遠不夠的,對管道系統(tǒng)的材質也有非?量虈栏竦囊,無論對化學成分和機械性能都有一定的定義.所以我們提到的純凈管道是由純凈的316L 制成,指不銹鋼中的不純物盡量降到一定范圍內,非金屬夾雜物以及氣體成分控制在最小極限。 i:d0U B*f$z半導體技術天地[Semiconductor Technology World]C. 超純, 潔凈管道系統(tǒng)的制造 p z R/] Y.J;~ H 1,母材的冶煉:常規(guī)的不銹鋼是通過電爐溶解(EF)而成的。對化學成分有一定要求的話,還需要通過氫氧脫碳(AOD)或真空脫碳(VOD),通過這種精煉方式的材料化學成分在規(guī)定的范圍內,特別是C, Mn, Si, P, S 等有害化學成分降到最低,才符合用來制造上述管道系統(tǒng)的母材(SINGLE MELT).采用真空脫碳(VOD)制造的不銹鋼坯,又經(jīng)過真空電弧再溶解(VAR)處理,使得材料純度更高并且不出現(xiàn)偏析,其性能特性更為優(yōu)異,這種材料又稱316L VAR(V1).用VOD材料,先用真空感應熔煉(VIM),然后再經(jīng)過真空電弧再溶解(VAR)處理,通過這種特殊精煉方式使得材料的C, Mn, Si, P, S 及H,O 降到最低, 這種材料又稱VIM+VAR(V2).由于精煉和特殊精煉的技術難度大,目前僅有日本極少數(shù)工廠擁有這種技術,如KOBE(神戶特鋼),新日鐵的山陽特鋼(SANYO),住友鋼鐵(SUMITOMO)等, 瑞典的SANDVIK 有AOD 和AOD+VAR 冶煉.所以市面上真正的VIM+VAR 的材料幾乎全部都是由日本工廠生產的。由上述精煉和特殊精煉方法得到的母材(母管,棒材和板材)就是生產高純管閥件的基礎材料。目前市場上質量較高級的管閥件均由上述工廠提供母材。芯片,設計,版圖,晶圓制造,工藝,制程,封裝,測試,wafer,chip,ic,design,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA i9s ? K Z n 2, BA 管的軋制:BA 管是由日本工廠給出定義的,按這個定義:不銹鋼管經(jīng)過特殊冷軋表面粗糙度在特定值以下經(jīng)光亮退火(BRIGHT ANNEALED)而成。正宗的BA 管表面形態(tài)是退火態(tài),沒有經(jīng)過任何機械或其他方式處理。經(jīng)過機械拋光和其他方式處理最后也光亮或表面粗糙度在特定值以下并非是真正意義上的BA 管。到目前為止,世界上有能力用特殊冷軋方式制造2”以上大口徑薄壁BA 管只有日本3 家工廠(KOBE,SUMIKIN和KUZE)。2”以下批量制造BA 管除日本上述3 家外,還有日本的TSK,DAIDO.英國的FINETUBE,瑞典的SANDVIK,美國的PLYMOUTH.為了降低成本,現(xiàn)在市場上流通的1”以上大口徑管道中的絕大部分并非由真正的BA 管制成,一般都是由焊管經(jīng)機械拋光或其他方式處理制成的“準BA 管”。 .b L/Y \ J/l半導體技術天地[Semiconductor Technology World]3, 表面處理和清洗包裝:BA 管經(jīng)過超聲波清洗,包裝后便成為BA 管成品。為了更進一步提高管道內表面的粗糙度以及耐蝕性,用BA 管經(jīng)過內表面電解拋光方式得到的管道叫EP 管。在細長管內要完成高質量的電解拋光需要有專門“Know-How”,目前擁有這種“Know-How”技術的廠商有歐洲的Dockweiler (Henkel),Sandvik(Calmo),日本的三愛(3A),以及美國的(AMI). |
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